特許
J-GLOBAL ID：200903032283376529
表面反射率の測定方法およびその装置、面精度の測定方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-256701
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094694
出願日： 1997年09月22日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】 シングルビームを用い表面反射率を高い精度で測定する。【解決手段】 シングルビームの入射光路73上の所定位置Cに、被測定物75を、ビームの入射角がθとなるよう挿入する。挿入した被測定物で反射され生じる反射光LR を、その光軸が入射光路73に対し所定位置Cにπ/2-θの角度で交わる線分ABに一致するよう変更されるように、第1および第2の反射手段77a,77bを用いて、光路変更する。この光路変更した光を受光装置79で測光して、被測定物75からの反射光強度IR を求める。所定位置Cに被測定物を入れない状態にし、かつ、第1および第2の反射手段77a,77b を、反射光強度IR を求めた位置から、線分ABを軸に、線対称の位置に移動する(図1(B))。そして、受光装置79で入射光強度II を求める。これら反射光強度IR および入射光強度II を用い、IR /II を算出して、絶対反射率を得る。
請求項（抜粋）：
シングルビームを用いて被測定物の表面反射率を測定する方法において、前記被測定物を前記ビームの入射光路上の所定位置に挿入した第1の状態と、挿入しない第2の状態とを、順に形成し、前記第1の状態で前記被測定物で反射されて生じる前記ビームの反射光と、前記第2の状態で前記所定位置を通過する前記ビームとを、一の光ガイド装置であって、前記反射光または前記ビームを受光できる位置に前記第1または第2の状態が形成されるタイミングに同期して移動され、該移動がされても受光光を一定の導波条件で案内する光ガイド装置を用いて、一の固定された受光装置に順に案内し、該受光装置で測定される前記反射光の強度と、前記ビームの強度とに基づいて前記被測定物の表面反射率を算出することを特徴とする表面反射率の測定方法(ただし、前記第1の状態と第2の状態とはいずれを先に形成しても良い。)。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01M 11/00 M
, G01M 11/00 T
, G01N 21/55
