特許

J-GLOBAL ID：200903032305006070

長尺石英ガラスの製造方法及びその装置

発明者： 後藤 吉彦 ,  工藤 正和
出願人/特許権者： 東ソー・クォーツ株式会社
代理人 (1件)： 石井 良和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-287549
公開番号（公開出願番号）：特開2002-097031
出願日： 2000年09月21日
公開日（公表日）： 2002年04月02日
要約：

【要約】【課題】シリカ質粉の溶融が良好で、均一で泡の発生がない長尺石英ガラスインゴットを酸水素火炎法で生産効率良く製造する。【解決手段】炉天井2に設けた供給手段からシリカ質粉を炉内へ連続的に供給し、メインバーナー5からの酸水素火炎でシリカ質粉を加熱溶融し、炉体底部3に堆積させる。炉体底部3に設けた引き抜き手段によって、炉体底部の空孔を有するノズル6から溶融石英ガラスの粘性を調整しながら一定の張力で引き下げる。炉内は炉底部に敷いた石英ガラス板でシールして部材の酸化消耗を防止している。石英ガラスの径を、ノズル6口径とノズル下方に設けた炉底開口面積によって制御し、また、酸水素ガスの比を化学量論的必要量より水素過剰として還元雰囲気中で酸水素火炎溶融してOH基を含有する石英ガラスが安定的に引き抜きされるようにした。

請求項（抜粋）：

炉体内に供給されたシリカ質原料粉を酸水素火炎バーナーで溶融ガラス化し、炉体底部に設けた空孔部を有するノズル部より溶融石英ガラスを連続的に引き抜く長尺石英ガラスの製造方法。

FI (2件)：

C03B 20/00 A ,  C03B 20/00 F

Fターム (2件)：

4G014AH02 ,  4G014AH08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭64-009823
  
• 特開昭64-003028
  
• 特開平4-021540
  
• 特開平4-130031