特許

J-GLOBAL ID：200903032319170981

透明ガスバリア性フィルムの製造方法

発明者： 永井 逸夫
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-145950
公開番号（公開出願番号）：特開平5-339704
出願日： 1992年06月05日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：

【要約】【目的】透明性が高く、ガスバリア性に優れたフィルムを安定して製造することを目的とする。【構成】高分子樹脂フィルム基材を連続的に走行させ、アルミニウム蒸気と酸素を該高分子樹脂フィルム基材上で反応させることにより該高分子樹脂フィルム基材上にアルミニウム酸化膜を連続的に形成する反応性蒸着法において、アルミニウム蒸気を蒸発させる蒸発源上に開口部を持つ防着板と該走行フィルムに囲まれた反応蒸着部分を設け、該高分子樹脂フィルムと該防着板の間のアルミニウム蒸気が飛来しない空間に酸素を導入することにより該反応蒸着部分のフィルム走行方向に酸素の圧力分布を設けることを特徴とする透明ガスバリア性フィルムの製造方法。

請求項（抜粋）：

高分子樹脂フィルム基材を連続的に走行させ、アルミニウム蒸気と酸素を該高分子樹脂フィルム基材上で反応させることにより該高分子樹脂フィルム基材上にアルミニウム酸化膜を連続的に形成する反応性蒸着法において、アルミニウム蒸気を蒸発させる蒸発源上に開口部を持つ防着板と該走行フィルムに囲まれた反応蒸着部分を設け、該高分子樹脂フィルムと該防着板の間のアルミニウム蒸気が飛来しない空間に酸素を導入することにより該反応蒸着部分のフィルム走行方向に酸素の圧力分布を設けることを特徴とする透明ガスバリア性フィルムの製造方法。

IPC (8件)：

C23C 14/08 ,  B32B 7/02 ,  B32B 27/06 ,  B65D 65/40 ,  B65D 81/26 ,  C08J 7/04 ,  C23C 14/56 ,  B32B 9/00

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭62-228461
  
• 特開昭61-208623
  
• 特開昭62-097133
  
• 特開平4-063262
  

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-228461
  
• 特開昭61-208623
  
• 特開昭62-097133
  
• 特開平4-063262