オゾン処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村上智司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-285107
公開番号（公開出願番号）：特開2003-092290
出願日： 2001年09月19日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：

【要約】【課題】高濃度オゾンガスを基板表面に導いて、十分な膜厚の酸化膜を基板表面に生成し得るオゾン処理装置を提供する。【解決手段】オゾン処理装置1は、基板が載置される載置台と、載置台上の基板を加熱する加熱手段と、載置台の上方にこれと対向して配設されてなり、オゾンを含んだ処理ガスが流通する管路を備えるとともに、一方端が管路に接続し、他方端が載置台との対向面に開口する吐出孔を備えた処理ガス管と、冷却流体が流通する管路を備え、処理ガス管上に、これと接触した状態で配設される冷却流体管22と、載置台の上方にこれと対向して配設され、且つ前記処理ガス管の近傍にこれに対し平行に配設されてなり、一方端が内部の管路に接続し、他方端が載置台との対向面に開口する吸気孔を備えた排気管23と、処理ガス管に処理ガスを供給する処理ガス供給手段40と、冷却流体管22に冷却流体を供給して、これを循環させる冷却流体循環手段60と、排気管23管路内の気体を吸引して排気する排気手段50とを備える。

請求項（抜粋）：

基板が載置される載置台と、前記載置台上の基板を加熱する加熱手段と、前記載置台の上方に該載置台と対向して配設されてなり、オゾンを含んだ処理ガスが流通する管路を備えるとともに、一方端が前記管路に接続し、他方端が前記載置台との対向面に開口する吐出孔を備えた処理ガス管と、冷却流体が流通する管路を備え、前記処理ガス管上に、これと接触した状態で配設される冷却流体管と、前記載置台の上方に該載置台と対向して配設され、且つ前記処理ガス管の近傍に該処理ガス管に対し平行に配設されてなり、一方端が内部の管路に接続し、他方端が前記載置台との対向面に開口する吸気孔を備えた排気管と、前記処理ガス管に前記処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、前記冷却流体管に前記冷却流体を供給して、これを循環させる冷却流体循環手段と、前記排気管管路内の気体を吸引して排気する排気手段とを設けて構成したことを特徴とするオゾン処理装置。

Fターム (12件)：

5F045AA04 , 5F045AB32 , 5F045AB39 , 5F045AD07 , 5F045AD08 , 5F045AD09 , 5F045EC09 , 5F045EF05 , 5F045EF10 , 5F045EJ09 , 5F045EK07 , 5F045EM10

前のページに戻る