特許

J-GLOBAL ID：200903032334591268

超音波ステージ

発明者： 藤村 毅直 ,  津幡 敏晴 ,  粂井 一裕 ,  谷口 芳久 ,  舟窪 朋樹
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-155224
公開番号（公開出願番号）：特開平7-337047
出願日： 1994年06月14日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】 超音波アクチュエータにより自動動作し得るとともに、手動により好適な動作を行えるようにした超音波ステージを提供する。【構成】 下固定部材1と、下固定部材1に摺動自在に保持された先端可動部材3と、先端可動部材3に摺動自在に保持された中間可動部材6と、中間可動部材6から延在された超音波アクチュエータの押圧部材16と、超音波アクチュエータ7と、押圧部材16の押圧方向となる超音波アクチュエータ7の端面に設けた摺動部材9と、摺動部材9と摺接し摺動部材9の移動範囲で先端可動部材3に固定された摩擦部材5と、中間可動部材6および先端可動部材3を移動自在に支持する直動支持体2、4、24と、上固定部材25に回動自在に設けられ中間可動部材25を直接動作させることにより先端可動部材を動かす手動回転棒28とより構成する。

請求項（抜粋）：

手動機構と超音波アクチュエータによる動作機構を有する超音波ステージにおいて、手動により動作し得る中間可動部材を設けたことを特徴とする超音波ステージ。

IPC (3件)：

H02N 2/00 ,  B23Q 1/34 ,  B23Q 5/22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-050628
  
• 特開平4-301727
  
• 特開昭60-022480