特許
J-GLOBAL ID：200903032335514941

半導体装置およびその作製方法

発明者：
山崎 舜平

山崎 舜平 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-135602
公開番号（公開出願番号）：特開2001-318626
出願日： 2000年05月09日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：
【要約】【課題】 工程を増やすことなく、画素電極の鏡面反射を防ぐ凸凹を形成する手段を提供する。【解決手段】反射型の液晶表示装置の作製方法において、画素電極の表面に凹凸を持たせて光散乱性を図るための凸部の形成をチャネル・エッチ型TFTの形成と同じフォトマスクで行い、画素電極108dの表面に凸凹(凸部において曲率半径rを有する)を形成する。
請求項（抜粋）：
絶縁表面上にゲート電極と、前記ゲート電極上の絶縁膜と、前記絶縁膜上の半導体層と、前記半導体層上のn型半導体層と、前記n型半導体層上の導電層とを含むTFTと、絶縁表面上に複数の凸部と、前記複数の凸部と接し、且つ、凸凹の表面を有し、且つ、前記TFTと電気的に接続された画素電極と、を有することを特徴とする半導体装置。
IPC (7件)：
G09F 9/30 349 ,  G09F 9/30 338 ,  G02F 1/1335 525 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336
FI (8件)：
G09F 9/30 349 Z ,  G09F 9/30 338 ,  G02F 1/1335 525 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/88 R ,  H01L 29/78 612 D ,  H01L 29/78 619 B ,  H01L 29/78 627 B
Fターム (113件)：
2H091FA02Y ,  2H091FA08X ,  2H091FA16Y ,  2H091FB08 ,  2H091FC02 ,  2H091FC26 ,  2H091GA13 ,  2H091LA16 ,  2H091LA19 ,  2H091LA20 ,  2H092GA25 ,  2H092GA42 ,  2H092JA26 ,  2H092JB07 ,  2H092JB08 ,  2H092KA05 ,  2H092MA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA17 ,  2H092MA37 ,  2H092NA27 ,  2H092PA08 ,  2H092PA12 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094DA14 ,  5C094DA15 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5F033GG04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH10 ,  5F033HH11 ,  5F033HH14 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH21 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033MM05 ,  5F033PP12 ,  5F033PP15 ,  5F033VV15 ,  5F033XX01 ,  5F033XX10 ,  5F033XX16 ,  5F110AA16 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE14 ,  5F110EE15 ,  5F110EE23 ,  5F110EE44 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110FF36 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG03 ,  5F110GG14 ,  5F110GG15 ,  5F110GG25 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK09 ,  5F110HK15 ,  5F110HK16 ,  5F110HK22 ,  5F110HK25 ,  5F110HK33 ,  5F110HK35 ,  5F110HK39 ,  5F110NN03 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ01 ,  5F110QQ04 ,  5F110QQ08 ,  5F110QQ09
引用特許：
審査官引用 (9件)
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