特許
J-GLOBAL ID：200903032335944750
感光性ポリイミド前駆体組成物およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-170485
公開番号（公開出願番号）：特開平11-015152
出願日： 1997年06月26日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】感度を十分に保持しつつ現像時間を短くすることができ、さらに良好なパターン加工が可能な感光性ポリイミド前駆体組成物を提供すること。【解決手段】(a)分子末端の少なくとも一方がアルコールの酸エステルとなっているポリアミド酸のカルボキシル基の一部をイソシアネート化合物あるいはグリシジル化合物と反応させた生成物と、(b)エチレン性不飽和結合を含む化合物、および(c)光重合開始剤を含有してなる感光性ポリイミド前駆体組成物。
請求項（抜粋）：
(a)分子末端の少なくとも一方がアルコールの酸エステルとなっているポリアミド酸のカルボキシル基の一部をイソシアネート化合物あるいはグリシジル化合物と反応させた生成物と、(b)エチレン性不飽和結合を含む化合物、および(c)光重合開始剤を含有してなる感光性ポリイミド前駆体組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/027 514
, C08F 2/48
, C08F290/06
, C08L 79/08
, H01L 21/027
G03F 7/027 514
, C08F 2/48
, C08F290/06
, C08L 79/08 A
, H01L 21/30 502 R
