特許
J-GLOBAL ID：200903032337072393
欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-114214
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281050
出願日： 1996年04月11日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】本発明は、欠陥検査装置において、ペリクルフレームに塗布された接着剤の均一性等を検査し得るようにする。【解決手段】フオトマスクを防塵するペリクル付フレームの該ペリクルと対向した端面にフオトマスクを接着するために付着され、透明な粘着剤保護シートが被着された透明な接着剤を検査する欠陥検査装置において、接着剤のフオトマスクに対する接着面と略平行な方向から光束を照射する光束照射手段と、光束照射手段によつて光束を照射された接着剤を、接着面に対して略垂直方向から粘着剤保護シートを介して撮像する撮像手段とを設ける。
請求項（抜粋）：
フオトマスクを防塵するペリクル付フレームの該ペリクルと対向した端面に前記フオトマスクを接着するために付着され、透明な粘着剤保護シートが被着された透明な接着剤を検査する欠陥検査装置において、前記接着剤の前記フオトマスクに対する接着面と略平行な方向から光束を照射する光束照射手段と、前記光束照射手段によつて前記光束を照射された前記接着剤を、前記接着面に対して略垂直方向から前記粘着剤保護シートを介して撮像する撮像手段とを具えることを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G01N 21/88 D
, G01N 21/88 E
, G01N 21/88 J
, G06F 15/62 400
