特許

J-GLOBAL ID：200903032337371536

アルミニウム電極のパターニング方法

発明者： 尾崎 喜義 ,  中神 好正
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-250267
公開番号（公開出願番号）：特開平6-104241
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：

【要約】【目的】 液晶ディスプレイ用のTFT マトリックスにおけるドレインバスラインに関し,後処理において残留した薬液によって該ドレインバスラインが腐食し断線に到るような信頼性低下を防止することを目的とする。【構成】 前記後処理における薬液の残留は, 上記アルミニウム薄膜のサイドエッチングに起因している。一方, アルミニウム薄膜とその上に形成されたモリブデン薄膜とから成るバスラインをパターニングする際にアルミニウム薄膜に生じるサイドエッチングの量は, 前記モリブデン薄膜の厚さに依存する。したがって, アルミニウム薄膜にサイドエッチングが生じない範囲の厚さを有するモリブデン薄膜をアルミニウム薄膜上に形成する。

請求項（抜粋）：

基板の一表面に順次堆積されたアルミニウム薄膜とモリブデン薄膜とを湿式エッチングによってパターニングするに際して, 該アルミニウム薄膜の厚さに対する該モリブデン薄膜の厚さの割合をあらかじめ制御しておくことによって, 前記エッチングにおける該アルミニウム薄膜のサイドエッチングを所望の量に調節することを特徴とするアルミニウム電極のパターニング方法。

IPC (5件)：

H01L 21/306 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 29/784

FI (2件)：

H01L 21/88 C ,  H01L 29/78 311 F