特許
J-GLOBAL ID：200903032338759678
半導体加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-357615
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194380
出願日： 1992年12月24日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 重り部が支持部に対して双方側のはり部によりつながれている両持ちはり構造の半導体加速度センサにおいて、はり部に設けるゲージをセンサの正面方向にのみ感度を有するよう配置することにより、精度良く所望の加速度を検出することができるようにする。【構成】 基板10は、枠状の支持部11と、支持部11の内側に位置する重り部12と、重り部12の一方側及び他方側と支持部11とをつなぎ加速度印加時に歪が生じるはり部13,14とを有する。はり部13,14に設けて加速度に応じた出力を生じるゲージはセンサの正面方向に感度を有し、縦方向及び横方向に感度を有さないように配置する。
請求項（抜粋）：
枠状の支持部と、この支持部の内側に位置する重り部と、前記重り部の一方側及び他方側と前記支持部とをつなぎ加速度印加時に歪が生じるはり部とを有し、前記はり部に設けた歪検出用のゲージの出力により前記はり部の変位を検出し、前記ゲージは正面方向に感度を有し、縦方向及び横方向に感度を有さないように形成したことを特徴とする半導体加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/02
, G01P 15/12
, H01L 29/84
