特許

J-GLOBAL ID：200903032341805192

ドライフィルムフォトレジスト

発明者： 若田 裕一 ,  高橋 秀知
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 柳川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-109302
公開番号（公開出願番号）：特開2004-317659
出願日： 2003年04月14日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】高解像度で、かつ破れにくいテント膜を形成することができるドライフィルムフォトレジストを提供する。【解決手段】可撓性透明フィルム支持体と、該支持体の上に形成された感光性樹脂組成物層とからなるドライフィルムフォトレジストにおいて、該感光性樹脂組成物層が、(A)カルボキシル基を有する繰り返し単位と、側鎖にウレタン基を有する繰り返し単位とを含むビニル共重合体からなるバインダー成分、(B)エチレン性不飽和結合を二個以上含有する重合性化合物からなるモノマー成分、及び(C)光重合開始剤を含む組成物からなることを特徴とするドライフィルムフォトレジスト。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

可撓性透明フィルム支持体と、該支持体の上に形成された感光性樹脂組成物層とからなるドライフィルムフォトレジストにおいて、該感光性樹脂組成物層が、(A)カルボキシル基を有する繰り返し単位と、側鎖にウレタン基を有する繰り返し単位とを含むビニル共重合体からなるバインダー成分、(B)エチレン性不飽和結合を二個以上含有する重合性化合物からなるモノマー成分、及び(C)光重合開始剤を含む組成物からなることを特徴とするドライフィルムフォトレジスト。

IPC (6件)：

G03F7/004 ,  C08F220/36 ,  G03F7/033 ,  G03F7/11 ,  H05K3/06 ,  H05K3/42

FI (6件)：

G03F7/004 512 ,  C08F220/36 ,  G03F7/033 ,  G03F7/11 501 ,  H05K3/06 J ,  H05K3/42 620A

Fターム (57件)：

2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA13 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB15 ,  2H025CB16 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025DA01 ,  2H025DA19 ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AJ02P ,  4J100AJ08P ,  4J100AJ09P ,  4J100AL08Q ,  4J100AM21Q ,  4J100AN13Q ,  4J100BA05Q ,  4J100BA10Q ,  4J100BA16P ,  4J100BA38Q ,  4J100BB01Q ,  4J100BC04Q ,  4J100BC43Q ,  4J100CA03 ,  4J100JA38 ,  5E317AA24 ,  5E317BB02 ,  5E317BB12 ,  5E317CC31 ,  5E317CD15 ,  5E317CD18 ,  5E317CD25 ,  5E317GG14 ,  5E339AB02 ,  5E339AC01 ,  5E339BC02 ,  5E339BD03 ,  5E339BD11 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE16 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339DD03 ,  5E339DD04 ,  5E339GG02