特許

J-GLOBAL ID：200903032342296798

質量分析装置

発明者： 長部 敏 ,  志知 広康 ,  落合 勲 ,  兼堀 惠一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-310377
公開番号（公開出願番号）：特開平10-149795
出願日： 1996年11月21日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】 本発明の目的は、全検出効率の向上を図ることのできる光イオン化質量分析装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本装置は、レーザ装置6と試料1との間に、表面が透過、裏面が反射であるビームコンバイナ10をレーザ装置6に斜めに向くように配置して、このビームコンバイナ10を透過したパルスレーザビーム7を反射させビームコンバイナ10の裏面に導く反射ミラー11、試料にパルスイオンビーム3を照射させるイオンガン2、質量分析装置9などより構成される。【効果】 本発明によれば、レーザビームのパルスを試料上の同一位置を繰り返し通過させることにより、パルスの重ね合わせによるレーザ強度の増大によりイオン化効率を増大させるか、あるいは、レーザ照射の回数の増大によりレーザ照射率を増大させるかによって、全検出効率を向上する光イオン化質量分析装置を提供することができる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームを試料に照射することによって生成する中性粒子に光を照射して前記中性粒子を電荷を帯びた粒子に変化させ前記粒子を質量分析計に導き質量分析する質量分析装置において、前記光ビームが第1の光学素子と試料を通過し反射機能を有する少なくとも一巡する構成を含むことを特徴とする質量分析装置。

IPC (3件)：

H01J 49/04 ,  G01N 23/225 ,  G01N 27/64

FI (3件)：

H01J 49/04 ,  G01N 23/225 ,  G01N 27/64 B