特許
J-GLOBAL ID：200903032347323742
検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-164718
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334548
出願日： 1995年06月07日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 テスタを連続的に稼働させ、稼働効率を向上させることができる検査装置の提供。【構成】 検査前後のデバイスDをロード、アンロードするローダ19及びアンローダ20と、これら両者を介して検査前後のデバイスDをロード、アンロードする、X方向で隣接し同方向で移動可能な供給及び収納用整列部15,20と、これらからY方向へ離隔した位置にあるソケットを有する第1テストヘッド21と、これと各整列部19、20との間で検査前後のデバイスDを搬送する第1搬送機構23とを備え、デバイスDをソケットに電気的に接触させて電気的特性検査を行なう検査装置において、第1テストヘッドは切り替え可能な第1、第2ソケットを有し、第1搬送機構23は第1、第2ソケットと各整列部間でデバイスDを交互に搬送する第1、第2搬送部を有し、第1、第2搬送部により搬送されたデバイスDの電気的検査を、交互に切り替わる第1、第2ソケットにより連続的に行う。
請求項（抜粋）：
検査前後の被検査体をロード、アンロードするローダ及びアンローダと、これらのローダ及びアンローダを介して検査前後の被検査体をロード、アンロードする、X方向で隣接し同方向で移動可能な第1、第2整列部と、この第1、第2整列部からY方向へ離隔した検査位置に配設された、接触部を有するテストヘッドと、このテストヘッドと上記各整列部との間で検査前後の上記被検査体を搬送する搬送機構とを備え、上記被検査体を上記接触部に電気的に接触させて電気的特性検査を行なう検査装置において、上記テストヘッドはそれぞれ切り替え可能な第1、第2接触部を有し、また、上記搬送機構は第1、第2接触部と第1、第2整列部間で被検査体を交互に搬送する第1、第2搬送部を有し、第1、第2搬送部により搬送された被検査体の電気的検査を、交互に切り替わる第1、第2接触部により連続的に行うことを特徴とする検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/26 Z
, H01L 21/68 A
