特許

J-GLOBAL ID：200903032351802477

ガラス導波路の製造方法

発明者： 井本 克之
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-118611
公開番号（公開出願番号）：特開2002-311277
出願日： 2001年04月17日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】 低損失で安定した特性を有するガラス導波路が得られるガラス導波路の製造方法を提供する。【解決手段】 透明ガラス板1の厚さの略1/2の位置にフェムト秒レーザパルス2を集光させることにより、高屈折率の光伝搬部が形成される。この透明ガラス板1とフェムト秒レーザパルス2の焦点とを相対移動させることにより、高屈折率の光伝搬層5が透明ガラス板1中に連続的に形成されるので、透明ガラス板1中にレーザ照射による熱的歪みが残っていたとしても導波路が略対称構造を有しているため、偏波依存性が生じにくい。

請求項（抜粋）：

透明ガラス板内の略1/2の厚さの位置にフェムト秒レーザパルスビームを集光させると共に、該フェムト秒レーザパルスビームの焦点と上記透明ガラス板とを上記透明ガラス板の面方向に沿って相対移動させて高屈折率の光伝搬層を連続的に形成することを特徴とするガラス導波路の製造方法。

IPC (2件)：

G02B 6/13 ,  G02B 6/12

FI (2件)：

G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 N

Fターム (11件)：

2H047KA04 ,  2H047KA11 ,  2H047KA12 ,  2H047LA00 ,  2H047LA12 ,  2H047PA01 ,  2H047PA05 ,  2H047PA22 ,  2H047QA04 ,  2H047TA31 ,  2H047TA41