特許
J-GLOBAL ID:200903032352218175
磁気センサ、この磁気センサを用いた方位検知システム及び携帯通信端末
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
柏木 慎史
, 小山 尚人
, 柏木 明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-327957
公開番号(公開出願番号):特開2004-165333
出願日: 2002年11月12日
公開日(公表日): 2004年06月10日
要約:
【課題】小型・軽量で高感度な磁気センサを提供する。【解決手段】少なくとも磁性体層(硬磁性体層4、磁界検知用軟磁性体層6)と非磁性体層5との積層構造を含む薄膜磁気抵抗効果素子2において、磁界検知用軟磁性体層6の低保磁力化を行っても十分な感度が得られない原因を考えたところ、磁界検知用軟磁性体層6の異方性磁界の強さに起因していることが判明したものであり、反面、磁界検知用軟磁性体層6の一部がこれに近接する硬磁性体層4からの静磁気的な結合等によって磁化固定層が存在し、この磁化固定層によって磁界検知用軟磁性体層6の磁区が比較的安定していることを見出したものであり、磁界検知用軟磁性体層の異方性磁界6の強度を3Oe以下として極力異方性をつけないことで、地磁気センサ等に用いる場合でも十分な感度を得ることができ、小型・軽量で高感度な磁気センサ1を提供できるようにした。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
少なくとも磁性体層と非磁性体層との積層構造を含み、前記磁性体層のうちで磁化反転可能な保磁力を有する磁界検知用軟磁性体層の一部がこれに近接する硬磁性体層により磁化固定層を含む薄膜磁気抵抗効果素子を備え、
前記磁界検知用軟磁性体層の異方性磁界の強度が3Oe以下であることを特徴とする磁気センサ。
IPC (3件):
H01L43/08
, G01C17/02
, G01R33/02
FI (6件):
H01L43/08 Z
, H01L43/08 A
, H01L43/08 P
, H01L43/08 U
, G01C17/02
, G01R33/02 L
Fターム (11件):
2F029AA07
, 2F029AB07
, 2F029AC02
, 2F029AC04
, 2F029AC18
, 2G017AA03
, 2G017AA16
, 2G017AC01
, 2G017AD55
, 2G017AD63
, 2G017AD65
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