二次元的に配置された量子素子及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-017819
公開番号（公開出願番号）：特開平11-204774
出願日： 1998年01月14日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】常温で安定に作動し、現実に単電子トランジスタや単電子メモリとしして生産可能な量子素子を提供すること。【解決手段】絶縁体の一平面上に直径dが5〜7nmの複数の金属原子凝集体Dからなる量子ドットが11〜14nmのピッチで2次元的に配置されている量子ドットを紫外線以上のエネルギービームあるいは紫外線+加熱によりパターン化して形成する。

請求項（抜粋）：

絶縁体の一平面上に直径dが5〜10nmの複数の原子集合体とその周りを有機物で覆われたから複合粒子が二次元的に配置された後、有機物を紫外線の照射または紫外線の照射と熱処理により分解して得られることを特徴とする量子ドット。

IPC (8件)：

H01L 29/06 , H01L 21/368 , H01L 27/10 451 , H01L 51/00 , H01L 21/331 , H01L 29/73 , H01L 29/80 , H01L 29/86

FI (7件)：

H01L 29/06 , H01L 21/368 , H01L 27/10 451 , H01L 29/86 F , H01L 29/28 , H01L 29/72 , H01L 29/80 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

感光性平版印刷版
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-324603 出願人：三菱化学株式会社, コニカ株式会社
有機化合物の結晶化制御方法およびそれに用いる結晶化制御用固体素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-329688 出願人：住友金属工業株式会社
ナノスケール微粒子の2次薄膜集積法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-242237 出願人：新技術事業団

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