特許
J-GLOBAL ID:200903032368074033

個別配置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  森下 夏樹
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-571345
公開番号(公開出願番号):特表2004-507879
出願日: 2001年02月22日
公開日(公表日): 2004年03月11日
要約:
互いに位置合わせされた、少なくとも1つの構造および第2の構造を含む構造が提供される個別配置である。第2の構造に対する第1の構造の相対位置を検出する位置検出デバイスが提供され、構成において操作が行なわれたことを確認する。個別配置は、互いに位置合わせされた、少なくとも第1の構造と第2の構造とを含む構造、および第1の構造と第2の構造との間に相対位置を検出する、位置検出デバイスを有する。位置格納デバイスが提供され、位置格納デバイス内に、第1の構造と第2の構造との間の相対位置に関する情報が格納される。位置検出デバイスは、比較デバイスを有し、比較デバイスは、位置格納デバイス内に格納された情報を、検出された相対位置と比較する。第1の構造と第2の構造は、それぞれ、少なくとも部分的にオーバーラップして接触する導電性コンタクトである。第1の構造のコンタクトは、第2の構造のコンタクトよりも少ない面積を有する。【選択図】図4
請求項(抜粋):
個別配置であって、互いに位置合わせされた、少なくとも第1の構造(4)と第2の構造(5)とを含む構造(1)、および該第1の構造(4)と該第2の構造(5)との間に相対位置を検出する、位置検出デバイス(2)を有する個別配置。
IPC (1件):
H01L21/60
FI (1件):
H01L21/60 311T
Fターム (1件):
5F044PP17

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