特許
J-GLOBAL ID:200903032372362671

流量測定部パッケージ及びそれを用いた流量測定ユニット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山下 穣平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-105336
公開番号(公開出願番号):特開2003-302271
出願日: 2002年04月08日
公開日(公表日): 2003年10月24日
要約:
【要約】【課題】 広い流量範囲にわたって良好な精度及び感度での流量測定が可能な流量計に使用される流量測定部パッケージを提供する。【解決手段】 流体流通路14に取付けた傍熱定温制御式流量測定部16並びに二定点温度差検知式流量測定の為の上流側及び下流側の感温部18a,18b、更に熱伝達部材201に接続された温度補償用感温部20がケーシング100に収容されている。測定部16の発熱体及び第1感温体と第1端子116;感温部18aの第2感温体と第2端子118a;感温部18bの第3感温体と第3端子118b;感温部20の第4感温体と第4端子120;がそれぞれ接続されている。第1感温体の検知温度に基づく発熱体のフィードバック制御状態に基づき第1流量対応出力を得、第2感温体の検知温度と第3感温体の検知温度との差に基づき第2流量対応出力を得、これらに基づき測定流量を得る。
請求項(抜粋):
流体流通路内の流体の流量を測定するための流量測定部パッケージであって、前記流体流通路に取り付けられた傍熱定温制御式流量測定部及び二定点温度差検知式流量測定部を備えており、該二定点温度差検知式流量測定部は前記流体流通路内の流体流通方向に関して前記傍熱定温制御式流量測定部の上流側及び下流側にそれぞれ配置された上流側感温部及び下流側感温部からなり、前記傍熱定温制御式流量測定部は発熱体と該発熱体に隣接配置された第1の感温体とを有しており、前記上流側感温部は第2の感温体を有しており、前記下流側感温部は第3の感温体を有しており、前記傍熱定温制御式流量測定部には前記発熱体及び前記第1の感温体との電気的接続のための第1の配線部が接続されており、前記上流側感温部には前記第2の感温体との電気的接続のための第2の配線部が接続されており、前記下流側感温部には前記第3の感温体との電気的接続のための第3の配線部が接続されていることを特徴とする流量測定部パッケージ。
IPC (2件):
G01F 1/684 ,  G01F 1/698
FI (2件):
G01F 1/68 101 A ,  G01F 1/68 202 Z
Fターム (5件):
2F035AA06 ,  2F035EA01 ,  2F035EA05 ,  2F035EA08 ,  2F035EA09

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