プラズマエッチング装置及びプラズマ処理室内壁の形成方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-043813
公開番号（公開出願番号）：特開2007-227443
出願日： 2006年02月21日
公開日（公表日）： 2007年09月06日
要約：

【課題】プラズマエッチング装置において、エッチング処理室やエッチング処理室内部品を構成するアルミミニウム基材の腐食を防止し、溶射被膜の飛散による生産性の低下をなくす。【解決手段】プラズマエッチング装置において、アルミニウム合金から成るエッチング処理室及びエッチング処理室内部品と耐プラズマ性に良好なセラミックス溶射膜の間に、陽極酸化被膜を配置する。この陽極酸化被膜は5μm以下として耐熱性を持たせる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プラズマを利用して処理室内で被処理物をエッチング処理するプラズマエッチング処理装置において、プラズマが接触する処理室内壁を被覆する溶射被膜と、前記処理室内壁の基材の粗面処理された表面と前記溶射被膜との間に形成された5μm以下の厚さのバリア膜とを有する、ことを特徴とするプラズマエッチング装置。

IPC (3件)：

H01L 21/306 , C23C 4/10 , C23F 4/00

FI (3件)：

H01L21/302 101G , C23C4/10 , C23F4/00 A

Fターム (16件)：

4K031AA01 , 4K031AB02 , 4K031AB09 , 4K031CB41 , 4K031CB42 , 4K057DD01 , 4K057DM01 , 4K057DM14 , 4K057DN01 , 5F004AA16 , 5F004BB07 , 5F004BB29 , 5F004DA00 , 5F004DA04 , 5F004DA11 , 5F004DA17

引用特許：

出願人引用 (3件)

プラズマ処理容器内部材およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-351546 出願人：トーカロ株式会社, 東京エレクトロン株式会社
耐プラズマ性部材の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-368478 出願人：東芝セラミックス株式会社
耐プラズマ部材及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-118666 出願人：東芝セラミックス株式会社

審査官引用 (4件)

耐熱部材および耐熱部材の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-124607 出願人：株式会社東芝
特開平1-309979
耐プラズマ部材及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-118666 出願人：東芝セラミックス株式会社

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