特許

J-GLOBAL ID：200903032377797692

ダイシング方法およびダイシング装置

発明者： 桜田 伸一 ,  藤田 一仁
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  アキタ電子株式会社
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-154099
公開番号（公開出願番号）：特開平11-345785
出願日： 1998年06月03日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】【課題】 ダイシングによる切り残し厚さの一定化を図る。【解決手段】 テープに貼り付けたウエハをチャックテーブルの載置面上に保持させた後、回転するブレードを前記載置面に沿って移動させて前記ウエハを所定深さ切断するとともに、前記切断に先立って前記ブレードのセット位置を測定し、この測定によるブレードセット位置データに基づいてブレードの切断位置の高さを補正して切断を行うダイシング方法であって、前記チャックテーブルの載置面の平面度を測定した後、前記測定による測定データ(平面度データ)に基づいて前記ブレードの切断深さを制御しながら切断する。前記ブレードを支持するスピンドルまたはスピンドルと共に移動する部材に着脱自在に直接または間接的に取り付けられる平面度計測器によって前記チャックテーブルの載置面の平面度を測定する。

請求項（抜粋）：

被加工物をチャックテーブルの載置面上に保持させた後、回転するブレードを前記載置面に沿って移動させて前記被加工物を完全にまたは所定深さ切断するダイシング方法であって、前記チャックテーブルの載置面の平面度を測定した後、前記測定による測定データに基づいて前記ブレードの切断深さを制御しながら切断することを特徴とするダイシング方法。