特許

J-GLOBAL ID：200903032380782256

投影光学系及び該投影光学系を備える投影露光装置

発明者： 村山 徳雄 ,  高橋 哲男
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-086435
公開番号（公開出願番号）：特開2000-284178
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】少ないレンズ枚数で、反射鏡の大型化を招くことなく、所望の像側NA及びイメージサークルを得ることができる投影光学系等を提供すること。【解決手段】第1面から順に、第1、第2光学系G1、G2とを含み、第2光学系は、光を透過及び反射させる部分反射面M1と、第1面側に凹面を向けたメニスカス形状の第1光学素子L21と、第1面側に凹面を向けたメニスカス形状の第2光学素子L22と、所定の開口部APを有する反射面M4とを有し、第1光学系を介した光が部分反射面、第1光学素子および第2光学素子を介して反射面にて反射され、反射面にて反射された光が第2光学素子および第1光学素子を介して部分反射面にて反射され、部分反射面にて反射された光が第1光学素子、第2光学素子および開口部を介して第2面上に結像する。

請求項（抜粋）：

第1面からの光を受ける第1光学系と、該第1光学系を介した光を第2面へ結像する第2光学系とを含む投影光学系であって、前記第2光学系は、前記光を透過及び反射させる部分反射面と、前記第1面側に凹面を向けたメニスカス形状の第1光学素子と、前記第1面側に凹面を向けたメニスカス形状の第2光学素子と、所定の開口部を有する反射面とを有し、前記第1光学系を介した光が前記部分反射面、前記第1光学素子および前記第2光学素子を介して前記反射面にて反射され、前記反射面にて反射された光が前記第2光学素子および前記第1光学素子を介して前記部分反射面にて反射され、前記部分反射面にて反射された光が前記第1光学素子、前記第2光学素子および前記開口部を介して前記第2面上に結像することを特徴とする投影光学系。

IPC (4件)：

G02B 17/08 ,  G02B 13/18 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G02B 17/08 A ,  G02B 13/18 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (33件)：

2H087KA21 ,  2H087PA06 ,  2H087PA07 ,  2H087PA17 ,  2H087PB06 ,  2H087PB07 ,  2H087QA02 ,  2H087QA03 ,  2H087QA07 ,  2H087QA12 ,  2H087QA17 ,  2H087QA21 ,  2H087QA22 ,  2H087QA25 ,  2H087QA26 ,  2H087QA32 ,  2H087QA41 ,  2H087QA42 ,  2H087QA45 ,  2H087QA46 ,  2H087RA12 ,  2H087RA13 ,  2H087RA32 ,  2H087TA04 ,  5F046AA22 ,  5F046BA03 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CB12 ,  5F046CB23 ,  5F046CB25 ,  5F046DA01