特許
J-GLOBAL ID：200903032383609709

分析装置

発明者：
村田 昭浩

村田 昭浩 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-343702
公開番号（公開出願番号）：特開2005-106753
出願日： 2003年10月01日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：
【課題】リリースホールを必要とせず、可動部の安定した駆動が可能であり、構造、製造工程を簡易なものとすることができ、小型化が図れる分析装置を提供すること。【解決手段】所定の波長の光を選択的に出力する波長可変フィルタ1と、波長可変フィルタ1から出力され、被測定物を透過または反射した光を受光するPD421とを有する分析装置4であって、波長可変フィルタ1は、光透過性を有する、可動部31を備える第1の基板3および第1の基板3に対向する第2の基板20と、可動部31と第2の基板20との間に設けられた第1のギャップ21および第2のギャップ22と、可動部31と第2の基板20との間において、第2のギャップ22を介して干渉を生じさせる干渉部と、第1のギャップ21を利用し、可動部31を第2の基板20に対して変位させることにより、第2のギャップ22の間隔を変更する駆動部とを備える。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
所定の波長の光を選択的に出力する波長可変フィルタと、 前記波長可変フィルタから出力され、かつ、被測定物を透過または反射した光を受光する受光部とを有する分析装置であって、 前記波長可変フィルタは、光透過性を有し、可動部を有する第1の基板と、 光透過性を有し、前記第1の基板に対向する第2の基板と、 前記可動部と前記第2の基板との間に設けられた第1のギャップおよび第2のギャップと、 前記可動部と前記第2の基板との間において、前記第2のギャップを介して干渉を生じさせる干渉部と、 前記第1のギャップを利用し、前記可動部を前記第2の基板に対して変位させることにより、前記第2のギャップの間隔を変更する駆動部とを備えることを特徴とする分析装置。
IPC (4件)：
G01N21/35 ,  G01N21/01 ,  G01N21/05 ,  G02B5/28
FI (4件)：
G01N21/35 Z ,  G01N21/01 D ,  G01N21/05 ,  G02B5/28
Fターム (26件)：
2G057AA01 ,  2G057AB02 ,  2G057AC01 ,  2G057BA05 ,  2G057BB01 ,  2G057BB10 ,  2G057DB02 ,  2G057DC07 ,  2G059AA01 ,  2G059BB04 ,  2G059CC20 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ03 ,  2G059KK01 ,  2G059MM09 ,  2G059MM10 ,  2G059PP02 ,  2H048GA03 ,  2H048GA04 ,  2H048GA13 ,  2H048GA25 ,  2H048GA26 ,  2H048GA61
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • ファブリペローフィルタ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-371261   出願人：横河電機株式会社
  • 米国特許第6341039号明細書
審査官引用 (9件)
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