特許

J-GLOBAL ID：200903032386858068

三次元形状検査装置

発明者： 川村 晋一郎 ,  長坂 昭吾
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-348023
公開番号（公開出願番号）：特開2003-148927
出願日： 2001年11月13日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】 白色光を波長選択ミラーを用いて分光し、分光して得た光を波長毎に異なる照射角度から物体に投光して照物体の立体形状を検知する、三次元形状検査装置を提供する。【解決手段】 白色光を、青色波長帯域の光のみ反射し青色以外の波長帯域の光を透過するダイクロイックミラー14aと、緑色波長帯域の光のみ反射し緑色以外の波長帯域の光を透過するダイクロイックミラー14bに照射して青色光、緑色光、赤色光に分光し、光ファイバー束15a,15b,15cに導光する。光ファイバ束15a,15b,15cを構成する個々の光ファイバーはファイバーガイド20内で並べ換えられているため、ファイバーガイド20から出射される光は、波長帯域毎に半径の異なる同心円状の光になっている。この光を対物レンズ25を用いて検査対象物26に照射し、カラーCCDカメラ28で得られた画像を、処理装置29で処理して検査対象物の形状を判断する。

請求項（抜粋）：

波長の異なる光を照射角度を変えて対象物に照射し、対象物の三次元形状を検知する三次元形状検査装置において、白色光源と、白色光を波長選択ミラーを用いて分光する分光手段と、分光された各波長域の光の光束断面を同心円状に変換する光変換部と、前記光変換部からの出射光を各波長域毎に異なる照射角度で対象物に照射する光照射部と、対象物からの反射光を波長毎に認識する撮像素子と、を備えた三次元形状検査装置。

Fターム (27件)：

2F065AA53 ,  2F065AA54 ,  2F065BB05 ,  2F065CC01 ,  2F065CC26 ,  2F065DD01 ,  2F065DD02 ,  2F065DD04 ,  2F065DD09 ,  2F065FF04 ,  2F065FF61 ,  2F065GG02 ,  2F065GG17 ,  2F065GG23 ,  2F065HH03 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL12 ,  2F065LL20 ,  2F065LL33 ,  2F065LL46 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR08