エッチング終点検出方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柏谷昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-271328
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120173
出願日： 1992年10月09日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】半導体集積回路装置等の製造工程におけるドライエッチング終点検出方法に関し、エッチングの終点を高い精度で検出する方法を提供する。【構成】導電性材料あるいはその他の材料のドライエッチング工程においてプラズマのインピーダンス、あるいは、プラズマ放電電極の電極間容量の変化によってエッチングの終点を検出する。また、高周波電源21とプラズマ化電極の間に介挿されるマッチング回路中のマッチング条件を自動的に実現する可変容量の容量変化、あるいは、バリコン22の動きによってエッチングが終了する時点を検出する。

請求項（抜粋）：

導電性材料のドライエッチング工程において、プラズマのインピーダンスの変化によってエッチングが終了する時点を検出することを特徴とするエッチング終点検出方法。

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