角速度検出方法及びそれを用いた角速度センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大垣孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-222351
公開番号（公開出願番号）：特開平7-077533
出願日： 1993年09月07日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：

【要約】【目的】より小さく、大量生産可能な、従って安価な角速度センサおよび角速度検出方法を提供すること。【構成】 Si基板20の上側に、一定の太さの、同一の中心軸を有する、一定量のガスを時計廻りおよび反時計廻りにそれぞれ流す2つの環状流路22を具えている。そして、2つの前記環状流路22を流れるガスの、環状流路22に対する相対流速を測定するための流速測定手段として加熱抵抗24を具えている。また、Si基板20の下側には、Si基板20の温度を一定に保つためにペルチェ素子26を具えている。ここでは、2つの環状流路22をうず巻き状に設けてあり、さらに、時計廻りにガスを流す環状流路22の一端と反時計廻りにガスを流す環状流路22の一端とを互いに連結している。

請求項（抜粋）：

一定の太さの、同一の中心軸を有する2つの環状流路に、一定量のガスを時計廻りおよび反時計廻りにそれぞれ流し、2つの前記環状流路を流れるガスの、前記環状流路に対する相対流速をそれぞれ測定することにより、環状流路の回転の角速度を検出することを特徴とする角速度検出方法。

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