特許
J-GLOBAL ID：200903032392461170

感光性組成物、パターン形成材料、感光性積層体、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法

発明者：
岩崎 政幸

岩崎 政幸 について

, 
高柳 丘

高柳 丘 について

, 
池田 貴美

池田 貴美 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (3件)： 廣田 浩一 ,  流 良広 ,  松田 奈緒子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-264489
公開番号（公開出願番号）：特開2007-078890
出願日： 2005年09月12日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：
【課題】 青紫外光レーザに対し高感度であるとともに、黄色安全灯下での光安定性及び熱安定性に優れ、保存安定性が極めて高く、パターンを高精細に、かつ、効率よく形成可能な感光性組成物、該感光性組成物を積層したパターン形成材料及び感光性積層体、並びにパターン形成装置、及びパターン形成方法を提供する。【解決手段】 バインダー、重合性化合物、及び光重合開始系化合物を少なくとも含み、前記光重合開始系化合物が、アクリジン誘導体と中性ラジカル発生剤とを含む感光性組成物、支持体と、該支持体上に前記感光性組成物からなる感光層を少なくとも有するパターン形成材料、前記感光性組成物からなる感光層を有する感光性積層体、前記感光性積層体を備えており、光照射手段と光変調手段とを少なくとも有するパターン形成装置、などである。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
バインダー、重合性化合物、及び光重合開始系化合物を少なくとも含み、前記光重合開始系化合物が、下記一般式(I)で表されるアクリジン誘導体と中性ラジカル発生剤とを含むことを特徴とする感光性組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/031 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/032 ,  G03F 7/11 ,  G03F 7/20
FI (9件)：
G03F7/031 ,  G03F7/029 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/038 501 ,  G03F7/027 513 ,  G03F7/032 501 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/11 503 ,  G03F7/20 505
Fターム (27件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA20 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC53 ,  2H025BC66 ,  2H025CA04 ,  2H025CA07 ,  2H025CA28 ,  2H025CA35 ,  2H025CA48 ,  2H025CB30 ,  2H025CC17 ,  2H025DA35 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H097AA03 ,  2H097AB05 ,  2H097CA17 ,  2H097FA02 ,  2H097GB04 ,  2H097LA09
引用特許：
出願人引用 (5件)
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