現像方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-113638
公開番号（公開出願番号）：特開平9-297405
出願日： 1996年05月08日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：

【要約】【課題】感光性樹脂の現像時、現像液を還流させて繰り返し使用する場合に生じる現像ムラや現像残渣の問題を解決する。【解決手段】現像液循環方式の本現像の前もしくは後に、現像液を使い捨てる補助現像工程を設ける。

請求項（抜粋）：

基材上に形成された感光性樹脂層の現像方法において、現像液循環方式の本現像の前もしくは後に、現像液を使い捨てる補助現像工程を設けたことを特徴とする現像方法。

IPC (2件)：

G03F 7/30 501 , H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/30 501 , H01L 21/30 569 D

引用特許：

審査官引用 (1件)

前のページに戻る