特許
J-GLOBAL ID：200903032407186502
弾性表面波装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-231521
公開番号（公開出願番号）：特開平8-097671
出願日： 1994年09月27日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】 機械的損傷および汚染の防止をすると同時に腐食の防止をも達成する保護膜を有する弾性表面波装置を提供する。【構成】 圧電基板10上に一対の入力変換器16および出力変換器36を具えた弾性表面波装置において、入力変換器16および出力変換器36のそれぞれの弾性表面波励振部12および32と、入力変換器16および出力変換器36間の弾性表面波伝搬路とを少なくとも覆う保護膜が、圧電基板10の線膨張係数に近い線膨張係数を有する絶縁性の内側保護膜18と、耐湿性および絶縁性を有する外側保護膜20との二層で構成されている。
請求項（抜粋）：
圧電基板上に入力変換器および出力変換器と、これら入力変換器および出力変換器のそれぞれの弾性表面波励振部およびこれら入力変換器および出力変換器間の弾性表面波伝搬路を少なくとも覆う保護膜とを具えた弾性表面波装置において、前記保護膜が、前記圧電基板の線膨張係数に近い線膨張係数を有する絶縁性の内側保護膜と、耐湿性および絶縁性を有する外側保護膜との二層で構成されていることを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (2件)：
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