特許

J-GLOBAL ID：200903032419402014

分析装置

発明者： 斎藤 正樹
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-140043
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331574
出願日： 1993年05月18日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】 標準試料の変質を防止して精度の高い分析を行なうことのできる分析装置を提供する。【構成】 試料3を設置する真空試料室10と励起線発生手段30と二次放射線の検出手段40と試料保管室20とを備えた分析装置1であり、励起線発生手段30は、真空試料室10の所定位置に配置された試料3の表面に励起線を照射するものであり、真空試料室10に設けられている。検出手段40は、上記励起線の照射によって試料3から放出される二次放射線を検出するものであり、真空試料室10に設けられている。そして、試料保管室20は、真空試料室10にゲートバルブ21を介して接続され、且つ真空試料室10との間で試料3が移動可能であると共に、その内部を真空状態に保つことのできる部屋である。

請求項（抜粋）：

試料を設置する真空試料室と、前記真空試料室の所定位置に配置された試料の表面に励起線を照射するものであって、当該真空試料室に設けた励起線発生手段と、前記励起線の照射によって前記試料から放出される二次放射線を検出するものであって、前記真空試料室に設けた検出手段と、前記真空試料室にゲートバルブを介して接続され、且つ当該真空試料室との間で試料が移動可能であると共に、内部を真空状態に保つことのできる試料保管室とを備えたことを特徴とする分析装置。