特許

J-GLOBAL ID：200903032419640292

固体撮像装置の製造方法

発明者： 酒井 千秋
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-087479
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282851
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：

【要約】【課題】 均一な膜厚でかつボイドを生じることなく埋め込み特性良好に導波路用の開口部内を埋め込むことが可能な製造方法を提供し、固体撮像装置の撮像特性の向上を図る。【解決手段】 受光部101aを備えた基板101上に層間絶縁膜102を形成する工程と、受光部101a上の層間絶縁膜101部分に開口部102aを形成する工程と、開口部102a内を埋め込む状態で層間絶縁膜102a上に光透過性材料膜202を形成する工程とを行い、開口部102a内を光透過性材料膜202で埋め込んでなる導波路203を受光部101a上に形成する固体撮像装置の製造方法において、光透過性材料膜202を形成する工程では、光透過性材料を溶解させた溶液のミストを成膜面に供給して液膜を形成し、次いでこの液膜を焼成する。

請求項（抜粋）：

受光部を備えた基板上に絶縁膜を形成する工程と、前記受光部上の前記絶縁膜部分に開口部を形成する工程と、前記開口部内を埋め込む状態で前記絶縁膜上に光透過性材料膜を形成する工程とを行い、前記開口部内を前記光透過性材料膜で埋め込んでなる導波路を前記受光部上に形成する固体撮像装置の製造方法において、前記光透過性材料膜を形成する工程では、光透過性材料を溶解させた溶液のミストを成膜面に供給して液膜を形成し、次いでこの液膜を焼成することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H01L 31/00

FI (2件)：

H01L 27/14 D ,  H01L 31/00 B

Fターム (22件)：

4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA09 ,  4M118CA02 ,  4M118CA32 ,  4M118CA33 ,  4M118CA34 ,  4M118EA20 ,  4M118GA09 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  5F088AB03 ,  5F088BA01 ,  5F088BA18 ,  5F088BB03 ,  5F088CB14 ,  5F088CB20 ,  5F088EA04 ,  5F088GA04 ,  5F088HA05 ,  5F088HA12 ,  5F088HA20