露光装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶山佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-136276
公開番号（公開出願番号）：特開平7-321025
出願日： 1994年05月26日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】高さを高くとらなくても済み、小型で照度むらの少ない露光装置を提供することにある。【構成】凹面鏡の前後にこの凹面鏡からほぼ等距離で上下に同一列上に2つのミラーを配置することで、高さを低くして露光試料面までの距離を長くとることができる。さらに、凹面鏡と第1および第の平面鏡との角度を30度以下にすることで、より均一な露光光を露光試料面に得ることができる。

請求項（抜粋）：

露光光源像を入射面側に受けるインテグレータと、このインテグレータの出射面を物点としてその光軸が水平面にほぼ平行な瞳像を形成するレンズ系と、このレンズ系と露光面との間に設けられ前記瞳像の位置をほぼ焦点位置とし水平面にほぼ平行に配置されテレセントリックでかつケイラー照明条件をほぼ実現する照射光学系とを備え、前記照射光学系は、前記瞳像を受ける第1の平面鏡とこの平面鏡からの反射光を受ける凹面鏡と、この凹面鏡からの光を受けて前記露光面に垂直に反射光を照射する第2の平面鏡とを有し、前記瞳像の位置から前記第1の平面鏡との距離と前記第2の平面鏡から前記露光面までの距離とがほぼ等しく、前記凹面鏡から第1の平面鏡および第2の平面鏡との距離がほぼ等しく、前記第1および第2の平面鏡と前記露光面とがほぼ垂直方向に上下に配置されていることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G02B 27/00 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D , G02B 27/00 V

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