圧電素子及び音響-電気変換器、及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者： , ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-091394
公開番号（公開出願番号）：特開2002-246872
出願日： 2001年02月19日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】従来困難とされた、製造限界の厚みよりも薄い圧電素子及びその製造方法を提供する。又、光学レンズの製造方法を提供する。【解決手段】最初に、第1の振動部分を形成した後、第1の振動部分の外周に、第2の溝部分(第2の振動部分)を形成して、第1の振動部分と、第2の溝部分(第2の振動部分)を相対的に、Chemical Etching 加工を行なって、2段階以上の階段形状の振動子を形成することを特徴とする、圧電素子の加工方法。

請求項（抜粋）：

圧電材料からなる、リング状の保持部の内部に、薄肉の振動部分が、一体に形成された圧電素子。

IPC (4件)：

H03H 9/19 , H01L 41/09 , H01L 41/22 , H03H 3/02

FI (5件)：

H03H 9/19 A , H03H 3/02 B , H01L 41/08 C , H01L 41/08 U , H01L 41/22 Z

Fターム (9件)：

5J108BB02 , 5J108CC02 , 5J108CC11 , 5J108FF07 , 5J108FF14 , 5J108KK01 , 5J108KK03 , 5J108MM08 , 5J108MM15

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