特許
J-GLOBAL ID：200903032425818915
高周波装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-289888
公開番号（公開出願番号）：特開平9-134798
出願日： 1995年11月08日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：
【要約】【課題】 ロスタイムなく短時間にマッチングを取ることができる高周波装置を実現する。【解決手段】 範囲設定ユニット21,24は、マッチングが取られたとき、判定ユニット18,22からの信号と、メモリー20,23に記憶された各コンデンサ4,5のマッチングポイント位置とから、コンデンサ4,5の可変範囲を決定する。範囲設定ユニット21,24によって決定されたコンデンサの可変範囲は、リミッタ25,26にセットされる。この結果、マッチング可変コンデンサ4とチューニング可変コンデンサ5の駆動範囲は設定される。このように装置の動作の初期段階において、コンデンサ4,5の可変範囲を狭く制限することにより、その後、負荷7においてアーク放電等が生じた場合、マッチング動作を制限された狭い範囲で行うことができる。
請求項（抜粋）：
高周波電源と、高周波電源からの高周波電力が供給される負荷と、電源と負荷との間に配置され、マッチング可変コンデンサとチューニング可変コンデンサとコイルとから成るマッチングボックスと、電源とマッチングボックスとの間に設けられた入力インピーダンスと入力高周波の電圧と電流との位相を検出する検出器とを備え、検出器により検出されたインピーダンスに応じてマッチング可変コンデンサの容量を調整し、検出器により検出された位相に応じてチューニング可変コンデンサの容量を調整するように構成した高周波装置において、初期状態において各コンデンサのマッチングポイントを検出し、検出されたマッチングポイントに基づいて各コンデンサの容量の可変範囲を制限し、制限された範囲で各コンデンサの容量を調節するように構成した高周波装置。
IPC (5件)：
H05H 1/46
, C23C 14/40
, C23F 4/00
, H01L 21/3065
, H03H 7/40
H05H 1/46 R
, C23C 14/40
, C23F 4/00 A
, H03H 7/40
, H01L 21/302 B
