特許
J-GLOBAL ID：200903032430044324
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-275482
公開番号（公開出願番号）：特開平8-107140
出願日： 1994年10月03日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】【目的】 低温から高温まで広い温度範囲で使用できる静電チャックの構造およびにプラズマ放電の静電チャック周囲への回り込みを防止できる構造に関わる。【構成】 静電チャックのセラミック誘電体部が、炭素材料あるいは炭素の複合材料からなる台座の上にロー付けされた構造からなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
静電チャックの誘電体セラミック部分が、炭素材料あるいは炭素の複合材料からなる台座の上にロー付けされた構造からなることを特徴とする静電チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, C23C 16/50
