特許
J-GLOBAL ID：200903032431340172
セラミックスヒーター
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-343272
公開番号（公開出願番号）：特開平5-175139
出願日： 1991年12月25日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】【目的】 例えば400 °C以上の高温でも使用でき、かつ酸素ガスや腐食性ガス中でも安定して使用できるようなセラミックスヒーターを提供することである。【構成】 例えば円盤状の基体2は、緻密なセラミックスからなる。高融点金属からなる抵抗発熱体5が、円盤状基体2の内部に埋設される。抵抗発熱体5の端部に電気的に接続された塊状端子6Aが、円盤状基体2の背面2bに露出する。電極体7Aと塊状端子6Aとが耐熱結合される。中空の被覆材8を背面2bに設置し、少なくとも塊状端子6Aと耐熱結合部分とを覆う。被覆材8の内側空間8aに、矢印Bで示すように非酸化性ガスを供給し、充填する。
請求項（抜粋）：
緻密なセラミックスから形成された基体と;この基体の内部に埋設された、高融点金属からなる抵抗発熱体と;この抵抗発熱体の端部に電気的に接続され、前記基体に埋設され、この基体に露出する端子と;この端子に対して耐熱結合された電力供給部材と;前記基体に対して設置され、少なくとも前記端子及び耐熱結合部分を覆う中空の被覆材とを有し、この被覆材の内側に非酸化性ガスを充填できるように構成されたセラミックスヒーター。
IPC (4件)：
H01L 21/205
, H01L 21/302
, H05B 3/14
, H05B 3/20 356
