特許
J-GLOBAL ID：200903032455543660
水晶振動子の製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-233551
公開番号（公開出願番号）：特開平9-083281
出願日： 1995年09月12日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】 弗化ガスのプラズマに耐性が高く、リアクティブイオンエッチングに適したマスク材を提供することを目的とする。【解決手段】 水晶基板をマスキングして平行平板型のリアクティブイオンエッチングを行う水晶基板の薄板化処理工程を有する水晶振動子の製造方法において、水晶基板のマスク材Al2O3またはNiのいずれかを主成分とするマスクを用いる。好ましくは、このマスク材として、Ni含有量が80%以上のニクロムを用いる。
請求項（抜粋）：
水晶基板をマスキングして平行平板型のリアクティブイオンエッチングを行う水晶基板の薄板化処理工程を有する水晶振動子の製造方法において、前記水晶基板のマスク材は、Al2O3またはNiのいずれかを主成分とすることを特徴とする水晶振動子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 3/02 B
, H03H 9/19 A
