特許
J-GLOBAL ID：200903032455864873
作業を電子的に監視する装置と方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-259736
公開番号（公開出願番号）：特開平9-174393
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：
【要約】【課題】 手動操作の不正確さを補うため、オペレータに工程の状態を警報し、工程中の作業を電子的に監視して作業データを記録する装置と方法を提供する。【解決手段】 ウエットフード10の作業を監視するため、タンク12,14,16,18,20,22の上に赤外線検出器を置いて検出ゾーン54,56,58,60,62,64を確立する。ウエハボートが検出ゾーンに入ると、コンピュータ/コントローラ78は検出器から信号を受けてタイマを起動し、出力装置に信号を送ってタンクが特定の検出ゾーンに入ったことを示す。タイマ値と所定の工程時間値とを比較し、タイマ値がこの所定の時間値に近づくと、信号をオペレータコンソール82などの出力装置に送って、作業時間に近付いたことを示す。ウエハボート90をタンクから手動で取り出すと、タンク内に留まった実際の時間を履歴データとして記憶する。
請求項（抜粋）：
作業または工程を電子的に監視する装置であって、電子的に監視し識別できる特有の識別番号を持つ識別装置と、複数の電子検出器であって、該複数の電子検出器の各々が、特定の検出ゾーンを監視し、前記複数の電子検出器によって監視される各検出ゾーンに前記識別装置が出入りするのを識別し検出し、前記識別装置の進入を識別し検出すると進入データ信号を発生する、前記複数の電子検出器と、前記識別装置が前記複数の電子検出器の1つの検出ゾーンに入ると前記電子検出器からの前記進入データ信号を受けて記憶するとともに、これに応じて第1出力信号を発生する、コンピュータと、前記第1出力信号を受けて、これに応じて出力を発生させる出力装置と、を備える、作業または工程を電子的に監視する装置。
IPC (5件)：
B23Q 41/08
, G06T 7/00
, H01L 21/02
, H01L 21/304 341
, H01L 21/306
B23Q 41/08 Z
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/304 341 Z
, G06F 15/62 400
, H01L 21/306 J
