特許
J-GLOBAL ID:200903032459947099

全反射測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩橋 祐司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-032778
公開番号(公開出願番号):特開平7-012717
出願日: 1992年01月23日
公開日(公表日): 1995年01月17日
要約:
【要約】【構成】 カセグレン主鏡122及びカセグレン副鏡124を有し、前記副鏡124、主鏡122の順に反射された光を被測定物110上に集光し、反射光を主鏡122、副鏡124の順に反射させて得るカセグレン鏡120と、前記カセグレン副鏡124の下部に配置されたプリズム112と、前記プリズム112をカセグレン副鏡124下方の影部及び被測定物110の被測定面間で移動を可能とするプリズム移動手段160と、を備えたことを特徴とする全反射測定装置。【効果】 プリズム112をカセグレン副鏡124の下方影部に位置させることで、被測定面の鮮明な像での観察が可能となる。
請求項(抜粋):
カセグレン主鏡及びカセグレン副鏡を有し、前記副鏡、主鏡の順に反射された光を被測定物上に集光し、反射光を主鏡、副鏡の順に反射させて得るカセグレン鏡と、前記カセグレン副鏡の下部に配置されたプリズムと、前記プリズムをカセグレン副鏡下方の影部及び被測定物の被測定面間で移動可能とするプリズム移動手段と、を備えたことを特徴とする全反射測定装置。
IPC (2件):
G01N 21/27 ,  G01J 3/42
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平2-223847
  • 特開昭59-078808

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