特許

J-GLOBAL ID：200903032467254205

シアフォース検出装置

発明者： 中本 圭一
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (8件)： 蛭川 昌信 ,  阿部 龍吉 ,  白井 博樹 ,  内田 亘彦 ,  菅井 英雄 ,  青木 健二 ,  韮澤 弘 ,  米澤 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-027109
公開番号（公開出願番号）：特開2004-239677
出願日： 2003年02月04日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】チューニングフォークを用いる方式において、加振を行うための圧電体を不要とし、構造を簡単化して製作を容易にし、コストを下げるとともに検出感度を高くする。【解決手段】シアフォース検出部材(15)を取り付けた音叉型振動子(10)を共振させて前記検出部材先端を試料に接近させ、音叉型振動子に誘起される電圧を検出する装置において、音叉型振動子の一方の振動体(11)に加振用電極、他方の振動体(12)に検出用電極をそれぞれ形成し、加振用電極に加振電圧を印加して両振動体を共振させ、検出用電極から誘起電圧を測定するようにしたものである。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

シアフォース検出部材を取り付けた音叉型振動子を共振させて前記検出部材先端を試料に接近させ、音叉型振動子に誘起される電圧を検出する装置において、 音叉型振動子の一方の振動体に加振用電極、他方の振動体に検出用電極をそれぞれ形成し、加振用電極に加振電圧を印加して両振動体を共振させ、検出用電極から誘起電圧を測定するようにしたことを特徴とするシアフォース検出装置。

IPC (2件)：

G01N13/14 ,  G01B11/30

FI (3件)：

G01N13/14 B ,  G01N13/14 A ,  G01B11/30 Z

Fターム (5件)：

2F065AA00 ,  2F065AA49 ,  2F065FF00 ,  2F065FF67 ,  2F065LL02