特許
J-GLOBAL ID：200903032467520339
角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-351552
公開番号（公開出願番号）：特開2004-163376
出願日： 2002年12月03日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：
【課題】4個の質量部を互いに逆位相で振動させることにより、質量部の振動状態を安定させ、検出精度や信頼性を向上させる。【解決手段】質量部2,6,10,11を外側支持梁12により連結し、この支持梁12のうち質量部2,11と質量部6,10とが逆位相で振動するときの節に対応する節部12Aを固定部14によって基板1に固定する。そして、4個の質量部を、これら全体の重心Gをほぼ一定の位置に保持した状態でX軸方向に振動させ、質量部2,6をZ軸周りの角速度Ωに応じてY軸方向に変位させることにより、その変位量を角速度として検出する。これにより、質量部の振動状態を安定化できると共に、その寸法誤差等をY軸方向における対称形状によって補償でき、センサの検出精度や信頼性を向上させることができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板と、該基板と隙間をもって対向し互いに直交するX軸,Y軸,Z軸からなる3軸方向のうちY軸方向に並んで配置された4個の質量部と、該各質量部をX軸方向に変位可能に連結する支持梁と、該支持梁と前記基板との間に設けられ該支持梁を前記基板に固定する固定部と、前記各質量部のうち少なくとも一部の質量部を振動させることにより互いに隣接する質量部が逆位相でX軸方向に振動する振動発生手段と、前記4個の質量部のうちY軸方向の中心位置を挟んで対称な位置に配置された2個の質量部に角速度が作用したときに該質量部がY軸とZ軸のうち少なくともいずれか一方の軸方向に変位する変位量を角速度として検出する角速度検出手段とによって構成してなる角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
2F105BB02
, 2F105CD03
, 2F105CD05
