特許

J-GLOBAL ID：200903032472258243

飛行時間型二次イオン質量分析法による有機膜の組成分析方法

発明者： 橋本 浩行 ,  高瀬 博光 ,  岡本 尚志
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (3件)： 金田 暢之 ,  伊藤 克博 ,  石橋 政幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-191354
公開番号（公開出願番号）：特開2004-037120
出願日： 2002年06月28日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【課題】膜状有機物質が基板上にマトリクス状に配置された有機デバイス(バイオチップなど)中の有機膜組成を、飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS)法により、高い定量精度、また、再現性よく分析する方法の提供。【解決手段】被測定物と、その外部にある標準物質とについて、TOF-SIMS装置の測定条件を同一に設定して、それぞれ二次イオン質量スペクトルを測定し、前記標準物質において測定される二次イオン質量スペクトルに基づく、「質量数 対 二次イオン強度」の関係から検出器効率の補正を行う方法を採用すると、検出系の経時変化に伴う絶対的な感度変動の影響を排除でき、高い定量精度、と再現性を達成できる。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

有機デバイス上の有機物質からなる膜の組成を飛行時間型二次イオン質量分析法により分析する方法であって、 被測定物の有機物質からなる膜に関して、飛行時間型二次イオン質量分析法によりその組成を定量する際、 標準物質を、前記被測定物の外部に設け、 被測定物と、その外部にある標準物質とについて、飛行時間型二次イオン質量分析装置の測定条件を同一に設定して、それぞれ二次イオン質量スペクトルを測定し、 前記標準物質において測定される二次イオン質量スペクトルに基づく、「質量数 対 二次イオン強度」の関係から検出器効率の補正を行い、 その補正された検出器効率により、前記有機物質からなる膜の二次イオン質量スペクトルの各二次イオン強度測定値を規格化較正し、その規格化較正後の二次イオン強度により、前記有機物質からなる膜の組成を定量的に分析することを特徴とする有機膜の組成分析方法。

IPC (5件)：

G01N23/225 ,  G01N27/62 ,  G01N33/483 ,  G01N33/53 ,  G01N37/00

FI (7件)：

G01N23/225 ,  G01N27/62 K ,  G01N27/62 V ,  G01N33/483 Z ,  G01N33/53 D ,  G01N33/53 M ,  G01N37/00 102

Fターム (22件)：

2G001AA05 ,  2G001BA06 ,  2G001CA05 ,  2G001EA04 ,  2G001FA01 ,  2G001FA08 ,  2G001GA02 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001GA11 ,  2G001JA01 ,  2G001KA01 ,  2G001LA01 ,  2G001MA05 ,  2G001NA03 ,  2G001NA07 ,  2G001RA02 ,  2G045DA13 ,  2G045DA36 ,  2G045FB02 ,  2G045GC30 ,  2G045JA01