特許
J-GLOBAL ID：200903032477290927
表示素子および駆動方法、並びに光路変更ユニット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-122255
公開番号（公開出願番号）：特開平11-316347
出願日： 1998年05月01日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：
【要約】【課題】 多数の可動ミラー各々への入射光の光路が、可動ミラーからの反射光の光路とは大きく離れた位置に形成され、当該表示素子を組み込んだ光学装置の小型化、軽量化、コスト低減に寄与できる表示素子および駆動方法、並びに光路変更ユニットを提供する。【解決手段】 半導体基板1,複数の第1微小ミラー及び光路形成手段10[1]〜10[k],複数の第2微小ミラー及び第2微小ミラー駆動手段30[1]〜30[m]を備える。複数の第1微小ミラーは、形成面1aに垂直な状態を保ちつつ移動可能である。光路形成手段は、複数の第1微小ミラーの位置を個別に制御して光路10aを形成する。複数の第2微小ミラーは、光路10aに沿って配置され、光路10aを外方へ変更する反射位置と変更しない通過位置との間で移動可能である。第2微小ミラー駆動手段は、複数の第2微小ミラーを個別に反射位置又は通過位置に移動させる。
請求項（抜粋）：
電気回路を形成可能な形成面を有する半導体基板と、前記半導体基板に設けられ、光を反射可能な反射面が、前記形成面に垂直な状態を保ちつつ複数の異なる位置の間で移動可能に支持される複数の第1微小ミラーと、前記半導体基板に設けられ、前記複数の第1微小ミラーの反射面を、個別に前記複数の異なる位置の何れかに移動させ、前記複数の第1微小ミラーの反射面それぞれの位置に応じて光路を形成する光路形成手段と、前記半導体基板に設けられると共に前記光路に沿って配置され、光を反射可能な反射面が、前記光路を外方へ変更する反射位置と前記光路を変更しない通過位置との間で移動可能に支持される複数の第2微小ミラーと、前記半導体基板に設けられ、前記複数の第2微小ミラーを、個別に前記反射位置または前記通過位置に移動させる第2微小ミラー駆動手段とを備えていることを特徴とする表示素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 26/08 E
, G09G 3/34 Z
