特許
J-GLOBAL ID：200903032490890933
炭素原子や分子酸素の光吸収線を使用するレ-ザ絶対波長較正方法及び絶対波長較正可能なレ-ザシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奥山 尚男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-283745
公開番号（公開出願番号）：特開2000-151004
出願日： 1999年10月05日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：
【要約】【課題】 正確かつ効率的にエキシマレーザの絶対波長を較正することができるレーザシステムを提供する。【解決手段】 本発明によるレーザシステムは、レーザ活性物質と微量の光吸収化学物質とを含む混合気体によって満たされた放電チェンバ2を備える。光吸収化学物質はレーザの出力放射スペクトル内に少なくとも一つの光吸収線を有する。レーザの出力放射12は、少なくとも一つの光吸収線を含むレーザの広帯域放射スペクトル内で狭められ調整される。狭められた放射の絶対波長は、その狭められた放射が光吸収線をによって調整されるときにに較正可能である。また光吸収化学物質は好ましくは炭素原子または分子酸素である。この炭素原子または分子酸素は、レーザ活性物質が存在する放電チェンバ内に、それぞれ最初に微量の有機分子または酸素を含んだ分子を導入することによって与えられる。そのときそれらの分子は放電チェンバ内で相互作用して、炭素原子または分子酸素が作り出される。
請求項（抜粋）：
レーザ活性物質と、レーザの出力放射スペクトル内に一つ以上の光吸収線を有する光吸収化学物質とを含む混合気体によって満たされた放電チェンバと、波長選択ユニットと、検出器とを備え、前記レーザの狭められた放射が前記光吸収化学物質の前記一つ以上の光吸収線の中の少なくとも一つによって調整されるとき、前記レーザの前記狭められた放射の絶対波長が較正できることを特徴とするレーザシステム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/137
, H01S 3/223 E
