特許

J-GLOBAL ID：200903032496845255

位置決めステージ装置、半導体露光装置およびデバイス製造方法

発明者： 浅野 俊哉
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-237491
公開番号（公開出願番号）：特開2001-059704
出願日： 1999年08月24日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：

【要約】【課題】 ステージの移動範囲が大きくなっても、ステージに搭載する位置計測機構を小型軽量化し、かつ高精度のステージ位置計測を可能にする。【解決手段】 第1方向と第2方向に移動可能なステージと、該第1方向の該ステージの変位を計測する第1のレーザ干渉計と、該第1のレーザ干渉計の計測光を反射する、該ステージ上に構成された第1の反射鏡と、該第2方向の該ステージの変位を計測する互いにほぼ平行な光軸を有する複数の第2のレーザ干渉計と、該第2のレーザ干渉計の計測光を反射する、該ステージ上に構成された第2の反射鏡と、該第1のレーザ干渉計の計測値から該ステージの該第1方向の変位を出力し、該複数の第2のレーザ干渉計のうち選択された第2の干渉計の計測値から該ステージの該第2方向の変位を出力する干渉計制御器とを設け、選択する第2のレーザ干渉計を隣接する他の第2のレーザ干渉計に切り換える際の該ステージの該第1方向の変位が、該ステージの該第1方向の移動方向により異ならせる。

請求項（抜粋）：

第1方向と第2方向に移動可能なステージと、該第1方向の該ステージの変位を計測する第1のレーザ干渉計と、該第1のレーザ干渉計の計測光を反射する、該ステージ上に構成された第1の反射鏡と、該第2方向の該ステージの変位を計測する互いにほぼ平行な光軸を有する複数の第2のレーザ干渉計と、該第2のレーザ干渉計の計測光を反射する、該ステージ上に構成された第2の反射鏡と、該第1のレーザ干渉計の計測値から該ステージの該第1方向の変位を出力し、該複数の第2のレーザ干渉計のうち選択された第2の干渉計の計測値から該ステージの該第2方向の変位を出力する干渉計制御器とを有し、選択する第2のレーザ干渉計を隣接する他の第2のレーザ干渉計に切り換える際の該ステージの該第1方向の変位が、該ステージの該第1方向の移動方向により異なることを特徴とする位置決めステージ装置。

IPC (5件)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/027 ,  B23Q 17/24

FI (5件)：

G01B 11/00 G ,  G01B 9/02 ,  G03F 7/22 H ,  B23Q 17/24 Z ,  H01L 21/30 515 G

Fターム (40件)：

2F064AA02 ,  2F064AA06 ,  2F064BB01 ,  2F064CC10 ,  2F064DD05 ,  2F064DD08 ,  2F064GG12 ,  2F064KK04 ,  2F065AA03 ,  2F065AA06 ,  2F065AA09 ,  2F065AA37 ,  2F065CC00 ,  2F065DD02 ,  2F065DD14 ,  2F065EE00 ,  2F065EE05 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065GG13 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL12 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ51 ,  3C029AA40 ,  5F046BA03 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16 ,  5F046DA07 ,  5F046DB05 ,  5F046DB11 ,  5F046DC12