特許
J-GLOBAL ID：200903032497425748
簡易干渉計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-150775
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340839
出願日： 1992年06月10日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 工場のライン等で製作、組み立てられた光学レンズの検査測定に用い、部品点数が少なく、高精度の測定のできる簡易干渉計を提供する。【構成】 可干渉性の入射波面1の波面収差を測定する干渉計で、キューブビームスプリッター3と、キューブビームスプリッター3の一面上に配置された反射型の空間フィルター7と、空間フィルター7もしくはキューブビームスプリッター3による空間フィルター7の鏡像を曲率中心にもちかつキューブビームスプリッター3に密着した球面レンズ2と、干渉縞を電気信号に変換するための撮像素子11と、被検物体を撮像素子11上に結像する結像レンズ10を有する。
請求項（抜粋）：
可干渉性の入射波面の波面収差を測定する干渉計において、上記可干渉性の波面を入射させ、第1の光路と第2の光路に分割するキューブビームスプリッターと、上記キューブビームスプリッターの上記第1の光路上の面上に配置された反射型の空間フィルターと、上記空間フィルター上、若しくは、上記キューブビームスプリッターによる上記空間フィルターの鏡像上に曲率中心を持つよう配置され、かつ、上記キューブビームスプリッターの第1の光路上の面、若しくは、第2の光路上の面の少なくともどちらか一方の面と対向する面上に接合された球面レンズと、上記キューブビームスプリッターを射出した光路上に設けられた観察手段とを有することを特徴とする干渉計。
IPC (5件)：
G01M 11/00
, G01B 9/02
, G01J 9/02
, G01M 11/02
, G02B 27/00
