特許
J-GLOBAL ID：200903032497913530
基板搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-316292
公開番号（公開出願番号）：特開平8-172121
出願日： 1994年12月20日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：
【要約】【目的】 占有面積が小さく、自由度の制限のない完全ドライな基板搬送装置を提供することにある。【構成】 モータ4の出力軸5を2系統に分割し、一方の出力軸はマグネットカップリングを構成する永久磁石60a、60bを介して第1のアーム10に接続する。他方の出力軸は、モータ4の駆動力を任意に遮断もしくは接続可能なクラッチ7の駆動軸6と接続している。クラッチ7の駆動軸6は、駆動軸6の姿勢を任意に制動可能なブレーキ8及びマグネットカップリングを構成する永久磁石65a、65bを介して、第2のアーム20を駆動するベルト14を巻回したプーリ12に接続する。【効果】 以上の構成を採ることによって、アームの展開、回転の移動動作は、単一のモータの駆動で可能となり、駆動系及びその制御が著しく簡便となる。さらにアームの展開、旋回駆動によらずモータは常時固定されるため、360度の自由方向にアームの展開が可能である。
請求項（抜粋）：
独立に回転運動する同芯円上に配された駆動軸1及び駆動軸2と、少なくとも、前記駆動軸1と結合する第1の腕と、前記駆動軸2と結合し前記第1の腕の一端と回転軸を介して直列に支持される第2の腕とを各々一つ以上有し、前記駆動軸1及び前記駆動軸2を各々独立に駆動させることによって、前記第1の腕及び前記第2の腕を前記駆動軸を中心に回転移動及び展開することによって、任意の腕に保持した基板を任意の位置に搬送する基板搬送装置において、単一の駆動源で前記第1腕及び前記第2の腕の展開及び回転移動が可能であることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 9/06
, B65G 49/07
