特許
J-GLOBAL ID：200903032504393342
高圧微少流量発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-353937
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172044
出願日： 1991年12月19日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：
【要約】【目的】 非常に小さい脈動状態での薬液の注入が可能で、製作建設費の低減を図る。【構成】 弾性体で作られた袋状容器18と、これを内蔵する主たる系統の高圧ポンプ吐出圧力以上の内圧に耐える圧力容器16との組合わせ体を設け、注入すべき薬液を袋状容器18に貯液し、圧力容器16には主たる系統の高圧ポンプ出口の流体を分岐接続して袋状容器18を加圧圧縮する。
請求項（抜粋）：
高圧ポンプとその出口の配管および機器類より構成される主たる系統中に、PH調整やその外の目的を持つて微量の薬液を注入する装置として、弾性体の材料で作られた袋状容器と、これを内蔵する主たる系統の高圧ポンプ吐出圧力以上の内圧に耐える圧力容器の組合わせ構造体を設け、注入すべき薬液を袋状容器内に貯液し、圧力容器には主たる系統の高圧ポンプ出口の流体を分岐接続して袋状容器を加圧圧縮することにより、袋状容器中の薬液を主たる系統中の高圧ポンプ出口の分岐点より下流側の主たる系統の流体中に注入することを可能とする高圧微少流量発生装置。
IPC (2件)：
F04B 23/00
, H01L 21/304 341
