特許

J-GLOBAL ID：200903032516306038

モータ装置、ステージ装置、及び露光装置

発明者： 田中 慶一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-169406
公開番号（公開出願番号）：特開2001-008430
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 駆動効率及び位置制御精度を向上したステージ装置を提供する。【解決手段】 軸方向に磁化された円筒型磁石34L,34R,34LCと径方向に磁化された円筒型磁石34N,34Sとを軸方向に沿って交互に配列して、磁極ユニット30を構成する。この磁極ユニット38が発生する磁束密度は、高い磁束密度となる磁極ユニット38の径方向の近傍においても軸方向に沿って緩やかに変化し、含まれる高周波成分が小さくなっている。こうした磁極ユニット38の径方向の近傍に周方向に電流が流れる複数の電機子コイルを軸方向に沿って配列した電機子ユニットを配置して、各電機子コイルに電流を供給することにより、軸方向の駆動力を効率的かつ制御性良く発生させる。

請求項（抜粋）：

磁極ユニットと電機子ユニットとを電磁相互作用により所定の軸に沿って相対移動させるモータ装置において、前記磁極ユニットは、前記所定の軸を中心軸とする筒状の形状を有し、前記所定の軸の軸方向に磁化され、前記軸方向に沿って所定間隔で配設された複数の第1磁石と;前記所定の軸を中心軸とする筒状の形状を有し、径方向に磁化され、前記第1の磁石の配列において隣り合う前記第1磁石の間に配設された複数の第2磁石とを備え、前記磁極ユニットは、前記軸方向に沿って変化する磁束密度を発生することを特徴とするモータ装置。

Fターム (21件)：

5H641BB06 ,  5H641BB14 ,  5H641BB18 ,  5H641GG08 ,  5H641GG11 ,  5H641GG12 ,  5H641GG24 ,  5H641GG26 ,  5H641GG29 ,  5H641HH02 ,  5H641HH05 ,  5H641HH13 ,  5H641HH16 ,  5H641HH17 ,  5H641HH18 ,  5H641HH20 ,  5H641JA06 ,  5H641JA09 ,  5H641JA19 ,  5H641JB03 ,  5H641JB05