表面欠陥検査方法および装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小杉佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-246590
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094642
出願日： 1992年09月16日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】表面の粗さが大きい被検査材の表面欠陥をレーザ光で検出する場合、回折散乱光の広がりが大きく、欠陥に起因する反射光を区別できないので熱延鋼板の表面の欠陥検出には適用できない。被検査材の表面の粗さに応じて投射すべきレーザ光の設定条件を明確にする。【構成】赤外He-Neレーザ1から発せられた波長λ=3.39μmの赤外レーザビーム2は、コリメータレンズ3を経てポリゴンミラー4によつて熱延鋼板5の板幅方向に連続的に走査される。反射光は集光レンズ6によって受光器7に導かれ、信号処理装置8はこの電気信号をリアルタイムで処理し、検出結果を出力装置9から出力する。熱延鋼板5の表面プロフィルの高さ方向の準備偏差σに応じて(σ×cosθ/λ)<0.35の条件になるよう入射角θを定めて入射すると反射された赤外波長の回折散乱光のピーク強度を容易に検出でき、欠陥検出の感度が向上する。

請求項（抜粋）：

被検査材の表面に光束を投射し、その回折散乱光を検出して被検査材の表面欠陥を検出するに当り、被検査材の表面プロフィルの高さ方向の標準偏差σを求め、投射する光束の波長λ、光束の被検査材表面への投射角度θを次式に従って設定し、測定することを特徴とする表面欠陥検査方法。(σ×cosθ/λ)< 0.35

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