特許

J-GLOBAL ID：200903032523240565

基板の帯電電圧計測装置およびイオンビーム照射装置

発明者： 前野 修一
出願人/特許権者： 日新イオン機器株式会社
代理人 (1件)： 山本 恵二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-274826
公開番号（公開出願番号）：特開2004-111310
出願日： 2002年09月20日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】実際に処理中の基板表面の帯電電圧を正確に計測することができる装置を提供する。【解決手段】この帯電電圧計測装置12は、基板保持台4上に配置されていて基板6との間に静電容量Cs を形成する計測用電極14と、それと接地電位部との間に接続された静電容量Cm の計測用コンデンサ18と、その両端の計測電圧Vm を計測する電圧計20と、演算器22とを備えている。演算器22は、計測中の任意の時間をt1としたとき、そのときの計測電圧Vm(t1)、分圧比の逆数Kおよび計測用コンデンサ18に並列な抵抗分の抵抗値Rm に基づいて、次式の演算を行って、時間t1における基板6の表面の帯電電圧Vs を求める。Vs =K[Vm(t1)+{1/(Cm ・Rm )}∫0t1Vm(t)dt]ここで、K=(Cs +Cm )/Cs またはK=Cm /Cs (Cm ≫Cs のとき)【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

基板保持台に保持された基板の表面の帯電電圧Vs を計測する装置であって、 前記保持された基板の裏面に接触または近接するように前記基板保持台上に配置されており、かつ前記基板保持台とは電気的に絶縁されていて、前記基板との間に静電容量Cs を形成する計測用電極と、 この計測用電極と接地電位部との間に接続されていて静電容量がCm の計測用コンデンサと、 この計測用コンデンサの両端の電圧である計測電圧Vm を計測する電圧計と、 前記静電容量Cs とCm との関係において定まる分圧比の逆数Kおよび前記計測電圧Vm に基づいて、次の数1またはそれと数学的に等価な式の演算を行って、前記帯電電圧Vs を求める演算器とを備えることを特徴とする基板の帯電電圧計測装置。 【数1】 Vs =K・Vm ここで、K=(Cs +Cm )/Cs またはK=Cm /Cs (Cm ≫Cs のとき)

IPC (2件)：

H01J37/317 ,  G01R29/24

FI (3件)：

H01J37/317 C ,  H01J37/317 Z ,  G01R29/24 J

Fターム (3件)：

5C034CC13 ,  5C034CC19 ,  5C034CD07